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王文卫

来源: admin 时间: 2018-05-23

  王文卫同志政治立场坚定,与以习近平同志为核心的党中央保持高度一致。

  王文卫同志长期扎根于生产科研一线,先后负责完成多项国家及省市科研攻关项目、发表论文数篇。主要科研攻关项目有:(1)“IC级4″、5″、6″背封抛光片”项目获2005年河南省科学技术成果奖;(2)“超大规模集成电路硅单晶抛光片”项目获洛阳市科技成果(3)2006年负责我公司承担的国家科技部“8英寸集成电路级硅单晶抛光片研制”项目(4)2008年负责我公司承担的国家信息产业部支持项目“0.5μCMOS集成电路用硅抛光片的研究开发”(5)2009年负责我公司承担的国家信息产业部支持项目“6英寸TEOS背封抛光片生产工艺研发”(6)2011年负责完成河南省科技攻关项目“无旋高转换率太阳能单晶硅片的研发”;(7)2018年负责河南省科技支撑项目“8英寸硅晶圆技术研究及产业化项目”。主要论文:(1)《热处理硅单晶片中Fe沾污的深能级瞬态谱分析》,于2003在中文核心期刊《科学技术与工程》上发表;(2)论文2篇《TEOSLPCVD工艺在硅片封闭技术中的应用》和《硅抛光片几何参数控制的工艺研究》入选《2004年材料科学与工程新进展》一书;(3)论文《PreparationofCo-passivatedporoussiliconbystainetching》,发表于《MATERIALSCHEMISTRYANDPHYSICS》(ISSN:0254-0584)(2005Vol.90)。


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